| 故障現象 | 注意檢查情況 | 處理辦法 |
| 啟動困難 | 電源有故障 | 檢查是否斷電，或者電源缺相，電壓太低 |
| 異物入泵，轉子卡死 | 檢查泵腔或開泵檢修 | |
| 轉子位置變動 | 開泵檢修重新定位轉子位置 | |
| 轉子與隔板或泵體銹死 | 清洗轉子腔 | |
| 齒輪與軸承損壞或齒輪變位 | 更換軸承與齒輪，或調整齒輪 | |
| 啟動壓力太高 | 降低啟動壓力 | |
| 電機過載 | 電機繞組短路 | 檢查電機繞組 |
| 轉子有粘性附著物 | 清洗轉子和轉子腔 | |
| 軸承和齒輪損壞 | 更換軸承和齒輪 | |
| 泵泄露 | 打壓檢查泵泄漏源并修復或開泵檢修 | |
| 前級真空低 | 提高前級真空度 | |
| 吸氣壓力過高 | 降低吸氣壓力 | |
| 真空度低 | 電機轉向錯誤 | 跳換兩根電動機電源線 |
| 前級泵真空度低 | 檢修前級泵 | |
| 系統輕度泄露 | 打壓檢漏并修復 | |
| 泵轉子、泵殼、隔板的間隙過大 | 維修真空泵減小間隙或返回制造商檢修 | |
| 泵的密封泄露 | 打壓檢漏并修復 | |
| 真空表不準 | 更換真空表 | |
| 溢流閥密封泄露 | 更換溢流閥密封 | |
| 泵的選型小 | 重新選型，更換大泵或機組 | |
| 當地大氣壓低 | ****壓力檢驗真空泵 | |
| 振動/噪音大 | 軸承或齒輪損壞 | 更換軸承或齒輪 |
| 轉子位置變動 | 開泵檢修重新定位轉子位置 | |
| 前級真空度低溢流閥啟動 | 提高前級真空度檢修前級泵 | |
| 溫度高 | 軸承損壞 | 更換軸承 |
| 前級真空低 | 提高前級真空度 | |
| 油箱油位缺油 | 加注真空泵油 | |
| 漏油 | 軸伸油封磨損或損壞 | 更換油封 |
| 轉子腔與油箱密封磨損或損壞 | 更換密封部件 | |
| 油箱或油塞泄露 | 檢查泄漏源并修復 | |
| 泵油乳化 | 被抽氣體具有溶解性 | 與我公司聯系，增設特殊密封 |
| 冷卻水腔泄露 | 打開端蓋檢查并修復 | |
| 前級泵（液環/水環真空泵）反液 | 檢查前級泵入口閥門 |
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